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肥田 博隆 (2012年4月~2013年3月)

名前神戸大学大学院工学研究科 神野研究室 助教 (2013年4月~)


2003年3月 名古屋大学工学部機械・航空工学科卒業

2005年3月 名古屋大学大学院工学研究科博士課程前期課程

      マイクロシステム工学専攻 修了

2008年10月 名古屋大学大学院工学研究科博士課程後期課程

       マイクロ・ナノシステム工学専攻 満期退学

2009年5月 名古屋大学大学院工学研究科博士課程後期課程 学位取得(工学)



2008年11月  名古屋大学大学院工学研究科 マイクロ・ナノシステム工学専攻 

       集積機械デバイス講座 研究員

2009年6月  名古屋大学大学院工学研究科 マイクロ・ナノシステム工学専攻 助教

2012年4月-  現職



1.“MHS2006 Best Poster Award”, 2006 International Symposium on Micromechatronics and Human Science (MHS2006)



1. B. Tang, M. Shikida, H. Hida, K. Sato, P. Pal, “Study of surfactant-added TMAH for applications in DRIE and wet etching-based micromachining”, J. Micromech. Microeng. 20 (2010) 065008 (9pp).

2.  K. Shimizu, H. Sasaki, H. Hida, H. Fujita, K. Obinata, M. Shikida and E. Nagamori, “Assembly of skeletal muscle cells on a Si-MEMS device and their generative force measurement”, Biomedical Microdevices, Vol.12, No. 2 (2010), pp. 247-252.

3.  H. Hida, M. Shikida, K. Fukuzawa, S. Murakami, Ke. Sato, K. Asaumi, Y. Iriye and Ka. Sato, “Development of self vibration/detection AFM probe using quartz tuning-fork”, IEEJ Trans. Electrical and Electronic Engineering, Vol.3, No.4 (2009), pp. 378-385.

4.  H. Hida, M. Shikida, K. Fukuzawa, S. Murakami, Ke. Sato, K. Asaumi, Y. Iriye and Ka. Sato, “Fabrication of a Quartz Tuning-Fork Probe with a Sharp Tip for AFM Systems”, Sensors & Actuators: A. Physical, Vol. 148, (2008), pp.311-318.

5.  Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosalvez, Y. Kimura, K. Ishibashi, M. Niwano, H. Hida, B. Tang and S. Itoh: Surfactant adsorption on single crystal silicon surfaces in TMAH solution: Orientation-dependent adsorption detected by in-situ infra-red spectroscopy, J. Microelectromechanical Systems, Vol.18, Issue 6, (2009), pp. 1345-1356.

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